这套大面积紫外曝光固化机采用了**的LED光源技术,完全实现单波长紫外冷光源照明,有效消除热效应,非常适合实验室或超净间的紫外曝光使用。大面积紫外曝光固化机的LED紫外光源寿命高达1万小时,非常可靠而耐用,不需要日常维护,非常方便使用。
大面积紫外曝光固化机特点兼容4寸,6寸,8寸晶圆兼容9寸’’(8晶圆)和7寸(6‘‘晶圆)框架非常紧凑,桌上使用设计完美的紫外单色LED冷光源,*高固化效率***大工作面积为9英寸晶圆适合所有光刻胶无需预热,直接开机使用实时温度控制功能确保均匀曝光紫外照明功率强度可调可单次曝光或连续曝光适合光学,生物科技,微电子,晶圆键合,固化,细胞培养等多种应用
大面积紫外曝光固化机是采用紫外LED冷光源的LED紫外曝光机和LED紫外固化机,是一种冷光源LED紫外固化装置,它提供标准的365nm紫外线,广泛用于光刻胶紫外曝光固化,合晶圆键合 wafer bonding,临时键合temproary bonding,切割蓝膜,切割胶带,切割蓝膜 DICING TAPE的固化应用。大面积紫外曝光固化机是完全单色紫外发射,具有35mW/cm^2的功率密度,在9英寸的面积上光源均匀度搞到+/-10%, 是理想的高精度紫外曝光机。
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